硅加工中的表征
图书信息
书名：硅加工中的表征作者：布伦德尔,埃文斯,斯特劳瑟
包装：平装
开本：16
出版社：哈尔滨工业大学出版社
出版时间：2014-01-01
图书简介
本书旨在介绍硅加工过程中，相关技术的表征方法及其应用，着重介绍了硅外延生长和Si1_xGex外延生长技术，硅多晶导电膜，硅化物和铜/铝基导体材料，以及阻挡膜的表征技术。该书详细介绍了材料特性表征等方面的内容，以及相关的技术方法，还提供了技术总结的附录。
推荐理由
本书介绍了硅加工过程中相关技术的表征方法及其应用，包括硅外延生长、多晶硅导电膜、硅化物和铜/铝基导体材料、阻挡膜等方面的表征技术。本书详细介绍了材料特性表征等方面的内容，以及相关的技术方法，适合从事半导体制造和应用的工程师、科学家和研究人员阅读。
