集成电路制造技术
图书信息
书名：集成电路制造技术作者：杜中一
包装：平装
开本：16
全文字数：210000
出版社：化学工业出版社
出版时间：2016-03-01
图书简介
《集成电路制造技术》全面详细地介绍了集成电路制造技术的各种工艺和理论基础，从多晶半导体、单晶半导体到晶圆制备以及薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻、刻蚀及掺杂等方面进行了系统而全面的讲解。除此之外，《集成电路制造技术》还专门介绍了化合物半导体材料的制备，如在介绍薄膜制备工艺时，用单独的一章介绍了如何通过金属有机物化学气相沉积来制备化合物半导体材料薄膜。 该书既可作为集成电路制造行业从业人员的参考书，也适用于微电子、光电子等专业的学习教材。
推荐理由
这本书详尽深入地阐述了集成电路制造技术的理论基础和各种工艺流程，更是在介绍化合物半导体材料的制备方面进行了专门的介绍，适合于从事集成电路制造方面的从业人员和电子、光电子专业的学习者阅读。
