MEMS系统级建模/微纳系统系列译丛

该书内容全面，详细论述了MEMS系统级建模的技术与方法。优秀部分介绍了MEMS宏模型建模技术的理论基础，包括广义基尔霍夫网络理论基础、模型降阶技术的理论背景、系统级仿真算法以及协同仿真。第二部分介绍了基于集总单元的宏模型建模方法及其在电热执行器、RF MEMS器件、封装效应、分布效应上的仿真应用。第三部分介绍了各种数学模型降阶技术，包括线性与非线性模型降阶技术。第四部分介绍了完整系统的建模，包括含有压电换能器、电源管理和储能组件的能量收集模块的系统级模型、含有电路的RF MEMS开关和谐振器的系统级模型、含有加速度计、数字控制器、RF收发器及电池的系统级模型，以及含有加速度计、陀螺仪及∑△调制器的系统级模型。第五部分介绍了商用软件中的系统级建模与仿真环境，包括Coventor软件的MEMS+、ANSYS软件的MOR for ANSYS、SUGAR、IntelliSuite软件的SYNPLE、MEMS Pro软件的SoftMEMSMS，以及网络共享的设计方法。这本书适合于微机电系统专业、微电子技术专业、半导体技术专业、传感器技术专业、机械工程专业、仪器仪表专业、物联网技术专业等领域的高年级本科生、研究生及工程技术人员阅读和参考。总体来说，该书深度剖析了MEMS建模和仿真技术，对MEMS技术及其应用人员有很大帮助。