多元非晶氧化物薄膜及其薄膜晶体管
图书信息
书名：多元非晶氧化物薄膜及其薄膜晶体管作者：岳兰
包装：平装
开本：16
全文字数：172000
出版社：西南交通大学出版社
出版时间：2019-07-01
图书简介
本书从多个角度对多元非晶氧化物薄膜晶体管进行了全面介绍，其中包括薄膜晶体管的技术特点和氧化物材料及多元非晶氧化物TFT的优势。另外，本书还包括多元非晶氧化物TFT的研究现状和选题意义及研究内容。在制备及表征方面，本书将其分为多元非晶氧化物TFT的成膜工艺和表征方法。针对非晶La-Zn-Sn-O沟道层及其薄膜晶体管的研究，本书介绍了其制备工艺、TGA测试、结构与性能的研究和电学性能的研究。同样地，非晶A1-In-Zn-O沟道层及其薄膜晶体管的研究也在本书中有所介绍。本书最后一章讲述了氧空位及A1掺杂IZO电子结构的优秀性原理研究以及结论和展望。
推荐理由
技术书籍《多元非晶氧化物薄膜及其薄膜晶体管》全面介绍了多元非晶氧化物薄膜晶体管的原理、制备、表征及其在新一代显示技术中的应用优势。本书结合实例，提供了复杂多元氧化物半导体材料的模型构建和物理特性，为读者提供了制备过程中的参考。本书是了解多元非晶氧化物TFT技术以及相关行业从业者的不可缺少的一本专业参考书籍。