北京市高等教育精品教材立项项目：微机电系统技术基础
图书信息
书名：北京市高等教育精品教材立项项目：微机电系统技术基础作者：石庚辰,郝一龙
包装：简裝本
开本：16
页数：268页
出版社：中国电力出版社
出版时间：2006-8
图书简介
《北京市高等教育精品教材立项项目：微机电系统技术基础》全面系统地介绍了有关微机电系统的基本知识，内容包括微机电系统概述、微机电系统的材料、硅集成电路工艺基础、MEMS加工技术、微机电系统的设计方法学、微机电系统的组成、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。该书内容丰富，讲解通俗易懂，对于从事微机电系统领域的学生和研究者都有很大的参考价值。
推荐理由
本书详尽介绍了微机电系统的基本知识，从概述到应用全方位覆盖，内容翔实，讲解通俗易懂。是一本非常好的微机电系统教材，适用于从事该领域的学生和研究者学习和研究。