微电子机械加工系统（MEMS）技术基础
图书信息
书名：微电子机械加工系统（MEMS）技术基础作者：孙以材,庞冬青
包装：平装
页数：194页
全文字数：172000
出版社：冶金工业出版社
出版时间：2009-3
图书简介
《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》着重于 MEMS 元件的设计中的静电场与电流场、温度场、应力与应变分析等方面的有限元方法，同时详细说明了MEMS元件的制造，包括硅片腐蚀加工、硅片键合、封装和引线等内容。本书还介绍了电学、热学和力学有限元方法的要领，讲解了相关软件的使用以及硅片的加工处理方法。本书适用于国防、航天、医疗等专业的技术人员阅读，也可供大专院校有关专业师生参考，是一本较为实用的MEMS技术基础教材。
推荐理由
本书详尽地介绍了 MEMS 技术的制造工艺以及设计原理，具有很强的实用性和较高的参考价值，可以为读者深入了解MEMS相关领域提供有力的支持和帮助。同时，由于MEMS技术在国防、航天、医疗等各个领域都有着广泛的应用，因此本书对于从事相关行业和领域的研究工作者和技术爱好者具有较高的借鉴价值。
