薄膜晶体管物理、工艺与SPICE建模
图书信息
书名：薄膜晶体管物理、工艺与SPICE建模作者：雷东
包装：平装
开本：16
全文字数：262400
出版社：电子工业出版社
出版时间：2016-07-01
图书简介
本书基于显示面板设计和制造过程中的经验，深入探讨了TFT 薄膜晶体管的技术原理、工艺以及SPICE建模等方面的内容。全书共分为6章，第1章阐述了TFT用于平板显示的技术原理以及SPICE建模的基础知识。第2章和第3章主要分析了目前产业界常用的a-Si TFT的结构、工艺过程、材料以及器件的物理性质，并对每个模型参数的物理意义及其在TFT特性曲线上的作用进行深入分析。第4章和第5章则深入阐述了LTPS TFT的器件物理、制造工艺及SPICE模型。第6章主要介绍了目前新型的IGZO工艺，包括材料及器件的物理性质、采用的结构和工艺过程。本书详尽地介绍了各种薄膜晶体管的结构、制造工艺及器件特性，是此领域从业者和研究者必备的参考书。
推荐理由
本书详细介绍了薄膜晶体管的器件物理、工艺以及SPICE建模等方面的内容，涵盖了多种薄膜晶体管的结构和特性，对于从事半导体行业设计、制造工艺和器件研究的读者来说是一本必备的参考书。