化合物半导体加工中的表征
图书信息
书名：化合物半导体加工中的表征作者：布伦德尔,埃文斯,麦克盖尔
包装：平装
开本：16
出版社：哈尔滨工业大学出版社
出版时间：2014-01-01
图书简介
本书系统地讲解了化合物半导体加工过程中的表征技术。首先，本书通过前言向读者介绍了本系列材料表征的出版背景和目的；接着，通过贡献者章节对参与本书编写的专业人员进行了介绍。在正文中，本书还涵盖了III-V薄膜电子器件表征、光学III-V化合物材料表征、接触表征、介电层表征以及其他化合物半导体薄膜表征等多个方面。此外，本书还详细介绍了深级瞬态光谱学的用例，从多个角度全面阐述了化合物半导体加工中的表征技术。本书适合半导体工程师和学生阅读。
推荐理由
对于半导体工程师和学生而言，本书是一本值得阅读的理论指南。本书不仅介绍了化合物半导体加工中的表征技术，更具有启发性。通过全面深入的介绍，读者可以了解该领域的相关基础理论、技术和实践经验，并且从中梳理出合理的表征流程。如果你正在从事半导体研发工作，或者正在攻读相关科学学位，我强烈推荐你阅读这本书。
