微电子工艺技术与仿真
图书信息
书名：微电子工艺技术与仿真作者：王强
包装：平装
开本：16
出版社：江苏大学出版社
出版时间：2018-12-01
图书简介
《微电子工艺技术与仿真》共8章，从微电子工艺的物理学、晶体学、器件基础开始，根据工艺的复杂程度深入浅出地介绍了晶圆材料的生长与制备、氧化/扩散工艺、光刻工艺、薄膜工艺、等离子工艺、工艺整合和太阳能电池工艺。每章的编纂既体现了微电子工艺技术的科学性，又通过分析具体的工艺方法，体现了技术性。书中还针对微电子工艺的实践性要求，重点编撰了相关仿真内容，通过仿真实例的设计与分析，让学生对于微电子工艺的各个知识点有感性的认识。此书是一本深入浅出的科技教材，适合微电子专业的本科和研究生学生使用。
推荐理由
《微电子工艺技术与仿真》是一本系统性较强的微电子工艺教材。通过详细而且深入的介绍，让学生掌握了微电子工艺基础知识、材料工艺和器件工艺。同时，书中重点编写了仿真内容，可以让学生进行仿真实践操作，提高实验能力和技术水平。此书不仅适合微电子专业的本科和研究生学生使用，也适合从事微电子相关工作的职场人士参考。
