半导体的检测与分析(第2版)
图书信息
书名:半导体的检测与分析(第2版)作者:许振嘉
包装:精装
页数:635页
全文字数:779000
出版社:科学出版社
出版时间:2007-8
图书简介
本书针对半导体科研、生产中的常用检测、分析方法和原理进行详细介绍,全书共分7章。引言部分介绍了科学内容和实验技术以及展望。第2章讲述了半导体晶体的高分辨X射线衍射,包括晶体结构、衍射原理等。第3章介绍了半导体的光学性质检测分析,阐述了光致发光、吸收光谱等方法。第4章讲述了半导体表面和薄膜成分分析方法,包括俄歇电子能谱、X射线光电子谱等。第5章介绍了扫描探针显微学在半导体中的运用,包括扫描隧道显微镜、原子力显微镜、扫描电容显微镜等。第6章则介绍了透射电子显微学及其在半导体研究中的应用。第7章阐述了半导体深中心的表征方法,包括深能级瞬态谱技术等。本书不仅列出了各种检测、分析方法的原理,还具体给出了应用实例,同时附有大量参考文献和常用数据。
推荐理由
本书是一本针对半导体科研、生产的检测、分析方法和原理进行详细介绍的专业书籍。本书不仅介绍了各种方法原理,还附有具体应用实例,适合半导体科研和生产的科研人员,大专院校老师和研究生使用。