MEMS与微系统系列·微米纳米技术丛书：MEMS集成设计技术及应用
图书信息
书名：MEMS与微系统系列·微米纳米技术丛书：MEMS集成设计技术及应用作者：苑伟政,谢建兵,焦文龙
包装：平装
开本：16
出版社：国防工业出版社
出版时间：2014-11-01
图书简介
《MEMS与微系统系列·微米纳米技术丛书：MEMS集成设计技术及应用》首先在简要介绍MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）设计技术与设计工具基础之上，对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术，进行了详细的分析与论述。其次，介绍了基于这些关键技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMS Garden特色和使用方法，包括系统级仿真、器件级仿真、含降阶宏模型的系统级仿真和工艺级设计。最后，通过多个MEMS器件设计实例验证了MEMS Garden的通用性和先进性。本书对MEMS设计的关键技术进行了全面细致的分析和论述，可供MEMS技术相关从业人员及研究者参考学习。
推荐理由
推荐理由：本书详细介绍了MEMS设计的关键技术和基于这些技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMS Garden特色和使用方法，为MEMS技术相关从业人员及研究者提供了宝贵的参考。通过多个实例验证了MEMS Garden的通用性和先进性，可供读者在实践中使用。
