硅微机械传感器
图书信息
书名：硅微机械传感器作者：埃尔文斯波克,威杰林克,陶家渠,李应选
包装：精装
开本：32
页数：306页
全文字数：311000
出版社：中国宇航出版社
出版时间：2003-1
图书简介
《硅微机械传感器》详细描述了多种硅微机械传感器的工作原理，深入介绍硅微机械传感器的不同类型和应用领域，包括力学、压力、加速度、陀螺和流体等传感器的工作原理和测量方式。书中从有关硅微机械传感器设计所需的基本科学知识开始，论述了包括物理定律的按比例缩小、梁和膜的力学、流体流动和热传递的基本规律以及相关的电子电路等众多技术环节。此外还向读者介绍了硅微机械加工工艺和传感器封装的基本知识，并用众多案例说明了传感器设计、制造和性能方面的有关问题。
推荐理由
本书适合传感器设计、制造和应用领域的科技工程师和相应领域的学生阅读。通过阅读本书，读者可以了解到硅微机械传感器的基本工作原理和制造流程，同时也可以了解到各个传感器在应用领域的具体情况，对于工程设计、科研和生产实践有很大的借鉴价值。