多层膜集成结构体声波谐振器（英文版）
图书信息
书名：多层膜集成结构体声波谐振器（英文版）作者：张亚非,陈达
包装：精装
开本：16
页数：152页
全文字数：214000
出版社：上海交通大学出版社
出版时间：2012-12
图书简介
《多层膜集成结构体声波谐振器》主要介绍了目前开发的一种新型设备——多层膜集成结构体声波谐振器的理论、设计、制造技术和应用。这些设备主要应用于微电子器件、集成电路、光学器件、传感器和执行器、声波谐振器、微纳制造、多层集成、器件理论和设计原理等微型和纳米尺度领域，在高频率下工作。此书详细阐述了这些先进设备的基本原理和潜在应用，对研究电子器件、传感器、材料和薄膜等领域的学者非常有益。
该书作者张亚飞教授是中国薄膜与微纳加工技术教育部重点实验室的主任，陈达博士是张教授研究组的博士研究生。
推荐理由
本书介绍的多层膜集成结构体声波谐振器是当今最先进的技术之一，能在高频率下工作，具有广泛的应用前景。本书详细介绍了这种新型设备的理论、制造技术和应用，对研究微电子器件、材料、薄膜和传感器等领域的学者具有很大的参考价值。读者可以通过本书，了解到多层膜集成结构体声波谐振器的原理和构造，以及其在不同领域的应用，本书必将成为该领域的重要参考资料。
