薄膜体声波谐振器的原理、设计与应用
图书信息
书名：薄膜体声波谐振器的原理、设计与应用作者：张亚非,陈达
包装：平装
开本：16
页数：174页
全文字数：215000
出版社：上海交通大学出版社
出版时间：2011-1
图书简介
薄膜体声波谐振(FBAR)是近年来发展起来的性能好、效率高的微型化电子器件。该书全面系统地阐述了FBAR的基本原理、设计方法、关键技术要求以及对材料体系的要求。本书的9章对FBAR的重要技术进行了总结概括和深入分析，涵盖了从理论模型到谐振器制备、工艺过程及性能测试等全部内容。本书将有助于谐振器理论和器件研发专业人员和高校学生全面了解FBAR技术及其应用前景。
推荐理由
本书系统地阐述了FBAR技术的理论模型、制备工艺和性能测试等方面的知识，既有较高的学术价值，又有广泛的实际应用。本书内容全面、系统，对FBAR技术涉及的方方面面进行了深入的探索和研究，是谐振器研究开发人员和高校学生的必备参考书籍。
