中国电子信息工程科技发展研究 集成电路芯片制造工艺专题
图书信息
书名：中国电子信息工程科技发展研究 集成电路芯片制造工艺专题作者：中国信息与电子工程科技发展战略研究中心
包装：平装
开本：32
出版社：科学出版社
出版时间：2019-10-01
图书简介
在集成电路产业中，芯片制造技术是产业链中的核心环节之一。本书尝试从芯片大生产制造的角度，介绍芯片制造关键单项工艺和工艺集成技术，侧重原理和产业应用实际相结合，尽量避免冗长深奥的物理、化学公式和原理推导，重点介绍芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解决途径，并探讨芯片制造工艺产业链生态链的依赖关系。本书可供集成电路从业人员、大学生和科研人员参考学习。
推荐理由
本书是一本介绍芯片制造工艺的专题性著作。对于从业人员、学者以及芯片制造和集成电路类学科的学生，这是一本很好的参考学习书。本书不仅介绍了产业主流工艺，同时也重点介绍了芯片制造工艺中存在的五个主要挑战和可能的解，可供科技工作者深入研究芯片制造工艺问题，同时也可供从业人员学习工艺流程和理解工艺难点。
