MEMS技术及应用/机械工程前沿著作系列·先进制造科学与技术丛书
图书信息
书名：MEMS技术及应用/机械工程前沿著作系列·先进制造科学与技术丛书作者：蒋庄德
包装：精装
开本：16
出版社：高等教育出版社
出版时间：2018-11-01
图书简介
《MEMS技术及应用/机械工程前沿著作系列·先进制造科学与技术丛书》讨论的主题是微机电系统（MEMS）这一前沿交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺、设计、测量进行系统论述，并随之对MEMS的典型应用进行分类介绍，为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作为对主体内容的补充和延伸，纳机电系统（NEMS）和石墨烯在《MEMS技术及应用/机械工程前沿著作系列·先进制造科学与技术丛书》的结尾部分被予以专门的讨论。为达到为MEMS专业课程提供适用的本科和研究生教材的目的，《MEMS技术及应用》在内容安排上注意基础理论知识和具体技术细节并重，力图体现作者对MEMS专业方向学生的培养理念和教学思路。
推荐理由
本书是一本介绍MEMS技术的综合性著作，系统性地介绍了MEMS技术的不同方面，如结构、材料、工艺、设计、测量等，并且对MEMS的典型应用进行了分类介绍。同时，也包含了NEMS和石墨烯的相关内容，全面地呈现了当前微机电系统技术的发展面貌。适用于MEMS专业课程的本科和研究生教材，是MEMS领域学习和研究的重要参考。
