微机电器件设计、制造及计算机辅助设计/京航空航天“研究生英文教材”系列丛书
图书信息
书名：微机电器件设计、制造及计算机辅助设计/京航空航天“研究生英文教材”系列丛书作者：郭占社
包装：平装
开本：16
出版社：北京航空航天大学出版社
出版时间：2016-06-01
图书简介
该书对于微机电器件系统有着详尽的讲解。该书优秀章介绍了MEMS的发展和CAD等概念。第二、三、四章分别介绍了MEMS基本理论，所用材料和制备工艺，以及常用的测试方法与工程应用。第五、六、七章介绍了微尺度下的摩擦磨损、测试技术以及有限元方法在MEMS设计中的应用。通过详细的阐述和应用案例，帮助读者更好的掌握MEMS的相关知识和实际应用。
推荐理由
该书对于学习MEMS领域的读者来说是一本不可或缺的参考书籍。该书的作者将基本理论、材料制备、测试方法、有限元方法以及工程案例相结合，使得读者可以全面了解MEMS的现状和未来发展。此外，书中还包含了丰富的例子和图表，便于读者深入理解MEMS的相关知识。对于MEMS从事监测控制和机械工程等领域的相关工程人员来说，这本书更是不可或缺的工程实用读物。