微机电系统原理
图书信息
书名：微机电系统原理作者：李基邦,马晓军,吕强,王国胜,魏曙光
包装：精装
开本：16
出版社：国防工业出版社
出版时间：2014-04-01
图书简介
微机电系统(MEMS)技术研究主要针对微小系统，广泛应用于汽车、无线电话、数码相机以及医疗设备等领域。本书共分9章，第1章通过对微机电系统的量纲分析法进行了介绍；第2章讲解了微制造技术；第3章到第5章分别对静力学、动力学和流体动力学进行了详细的分析；第6章详细介绍MEMS在流体力学分析中的应用；第7章涉及MEMS设计中的基本方程；第8章和第9章则重点介绍如何通过MEMS组件的组合设计具有特定功能的驱动器或传感器。本书对MEMS感兴趣的读者是一本难得的好书。
推荐理由
本书详细介绍了微机电系统(MEMS)的原理和相关知识，内容涉及静力学、动力学、流体动力学等多个方面。针对MEMS提出了统一法和封闭形式解方法，便于读者更好地理解MEMS中的线性和非线性问题，并进行相关的应用设计。本书适合从事MEMS研究和应用的专业人士，以及学术和工业领域的学生和科技爱好者。