现代薄膜材料与技术
图书信息
书名：现代薄膜材料与技术作者：张永宏
包装：平装
开本：16
全文字数：359000
出版社：西北工业大学出版社
出版时间：2016-08-01
图书简介
《现代薄膜材料与技术》是一本全面介绍现代薄膜技术的书籍。本书共分为三个部分：薄膜制备技术、薄膜检测技术和典型薄膜材料及其应用。优秀部分介绍了真空技术的关键点，包括真空的基本知识，真空的获得和真空的测量。随后，本书通过重要的物理和化学方法详细介绍了物理气相沉积技术，包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜，以及其他物理气相沉积技术和分子束外延镀膜技术。第二部分主要介绍了薄膜制备的化学方法，包括薄膜的化学和电化学转化，以及薄膜的化学气相沉积技术。第三部分主要介绍了薄膜材料的表征与评价，包括薄膜厚度的测量与监控，表面成分和组织结构分析，物理和化学性能测试，力学性能测试。同时，本书还涵盖了功能薄膜材料及其应用和超硬薄膜材料及其应用两个重要方向。此外，笔者还结合了自己的研究工作，设置了磁控溅射镀膜技术和非晶碳膜的结构和性能表征方法两个专题内容。总之，本书详细介绍了现代薄膜材料的基本知识和相关技术，并将重点放在了材料的制备、表征和应用方面。
推荐理由
《现代薄膜材料与技术》系统阐述了现代薄膜技术中所涉及的知识点，包括真空技术、物理和化学气相沉积技术、薄膜材料表征和评价、功能薄膜材料及其应用等，可作为普通高等工科院校的材料及相关专业的薄膜材料与技术课程的教学用书，也适合从事薄膜材料生产和开发的工程技术人员作为借鉴。该书涵盖面广，内容详实，自然流畅，可谓实用性读物中的佼佼者。
