用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
图书信息
书名：用于恶劣环境的碳化硅微机电系统作者：张,王晓浩,唐飞,王文弢
包装：平装
开本：16
全文字数：154000
出版社：科学出版社
出版时间：2010-03-01
图书简介
碳化硅作为一种特殊材料，在微电子和微机电系统研究领域备受关注。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是由英国和美国学者合作编写的一本系统性书籍，详细阐述了碳化硅微机电系统的概述、沉积技术、接触开发、干法刻蚀以及设计、性能和应用等方面。本书旨在为科学家提供全面的技术知识和实用指导，深度剖析碳化硅微机电系统的制备和设计原理，为科研人员提供参考和借鉴。
推荐理由
《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是一本非常有深度的科学技术图书，系统性地讲解了碳化硅微机电系统在制备和设计方面的知识，对于从事微电子和微机械研究的科研人员来说，是一本非常有价值的参考书。本书详细介绍了碳化硅微机电系统的生长、加工、接触、腐蚀和应用等专业技术，对于想深入研究碳化硅微机电系统的科研人员来说，本书是非常有帮助的。此外，本书也可以作为研究生微机电课程的教材使用。
