集成电路制造技术教程
图书信息
书名：集成电路制造技术教程作者：李惠军
包装：平装
开本：16
出版社：清华大学出版社
出版时间：2014-09-01
图书简介
《集成电路制造技术教程》本着深入浅出、通俗易懂、内容全面、操作性强等编写原则，简化了不少理论性的推导及内容，使得《集成电路制造技术教程》接近于一本较为实用的工具书特征，既符合本科院校的系统化教学需要，又适用于高等高职高专类院校的可操作性要求，也可用于半导体器件及集成电路芯片晶圆制造企业的技术培训。《集成电路制造技术教程》内容讲授现代集成电路制造基础工艺，重点阐述核心及关键制造工艺的基本原理。共分为15章，前9章包含常规平面工艺，后6章包括超大规模集成工艺、电路管芯键合封装等内容。本书采用图文并茂的方式，详尽阐述当代集成电路制造领域的核心知识点，丰富文字、简练明了。
推荐理由
本书能够深入浅出、通俗易懂地讲解现代集成电路制造基础工艺和核心知识点，不仅符合本科院校的教学要求，也适合高职高专类院校和集成电路芯片晶圆制造企业的技术培训需求。书中内容涵盖常规平面工艺和超大规模集成工艺等方面，详细而全面，加上图文并茂的形式，让读者能够轻松学习掌握相关技能。对从事集成电路制造领域的专业人士和初学者都是一本理想的参考书和工具书。
