现代集成电路制造技术原理与实践 李惠军,吉利久,夏春秋（审） 电子工业出版社 97871
图书信息
书名：现代集成电路制造技术原理与实践 李惠军,吉利久,夏春秋（审） 电子工业出版社 97871作者：李惠军,吉利久,夏春秋,审
包装：平装
页数：435页
出版社：电子工业出版社
出版时间：2009-5
图书简介
这本教材是一部全面深入讲解现代集成电路制造技术的著作，旨在让读者全面了解集成电路制造的基础和新技术。全书共18章，每一章都覆盖了重要的知识点，如硅材料制备、外延生长、薄膜气相淀积、图形光刻等。此外，本书还特别介绍了集成电路工艺仿真、管芯失效和可靠性、超大规模集成工艺等高级概念。此外，本书涵盖了新的集成电路芯片制造技术，如Sentaurus TCAD设计工具等，让读者对新发展趋势有着更深入的理解。读者可以通过这本书更好地提高自己的专业能力，并且获得关于集成电路制造的深度知识。
推荐理由
这本教材详细介绍了集成电路制造技术的基础和最新技术，适合电子工程、通信工程等相关专业的学生和研究者阅读学习。阅读本书可以为读者提供更加全面深入的集成电路制造知识，为未来的工作和研究打下坚实的基础。此外，本书涵盖了最新的集成电路芯片制造技术，可以帮助读者了解当前集成电路芯片制造技术的最新发展，提升读者的专业竞争力。
