微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列：RF MEMS器件设计、加工和应用
图书信息
书名：微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列：RF MEMS器件设计、加工和应用作者：朱健
包装：平装
开本：16
全文字数：349000
出版社：国防工业出版社
出版时间：2012-12-01
图书简介
《微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列：RFMEMS器件设计、加工和应用》是优秀部由国内作者编著的RFMEMS技术专业著作，共11章，全面阐述了RFMEMS技术在理论基础、器件设计、工艺技术等方面的成果，深入浅出地向读者介绍了RFMEMS的概念、模型和设计。书中介绍的工艺技术全面而详尽，是RFMEMS工程实践优秀的参考书。
推荐理由
本书介绍的是最新的RFMEMS技术，是MEMS领域的一部必读之作。作者全面而详尽地介绍了RFMEMS的理论、设计和工艺技术，并对我国RFMEMS技术的新成果和前沿技术进行了代表性的介绍。对于从事MEMS技术的研发人员、工艺工程师、RF电路设计人员等，本书都是非常宝贵的参考资料。同时，本书的系统性和可读性使其也适合作为学术研究的教材。
