半导体材料与器件表征技术 （美）施罗德 著,大连理工大学半导体研究室 译 大连理工大学出版社

《半导体材料与器件表征技术》是一本关于半导体工业中材料和器件表征技术的详尽介绍。本书首先讲解了电学和光学测试方法，并提供了与半导体材料相关的物理和化学测试方法。作者并不断强调测量中的物理问题及半导体材料与器件参数的物理起源和物理意义。对于读者来说，这非常重要，因为可以收集到很多关于半导体材料的知识和经验，获取更深层次的理解。此外，书中还包含了具体的测量手段，同时指出不同手段的局限性和测量注意事项，帮助读者更好地了解和应用这些技术。 如今，本版已经进行了修订和扩展。本版增加了许多逐渐成熟的表征技术，例如从探测硅晶圆中金属杂质的扫描探针到用于无接触式电阻测量的微波反射技术。此外，本版特点是增加了可靠性和探针显微技术方面的全新内容，增加了大量例题和章后习题，修订了500幅图例，更新了超过1200条参考文献，并采用了更合适的单位，而不是严格的MKS单位制。 综上所述，如果你是一名半导体工业领域的专业人员或者是该领域的学生学者，这本书是必须读的。它不仅详细介绍了现代半导体工业中材料和器件的表征技术，提供了电学与光学测试方法，以及非常专业的与半导体材料相关的物理和化学测试方法，而且还包括了逐渐成熟的测试技术，这些都可以帮助你更好地掌握和应用这些技术。