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超精密气浮定位工作台技术:气浮系统动力学与控制

更新时间: 2024年10月07日 访问量: 917次
图书分类 : 真空电子技术
超精密气浮定位工作台技术:气浮系统动力学与控制

图书信息

书名:超精密气浮定位工作台技术:气浮系统动力学与控制
作者:陈学东
包装:平装
页数:221页
全文字数:180000
出版社:华中科技大学出版社
出版时间:2008-1

图书简介

《超精密气浮定位工作台技术》是一本介绍气浮系统动力学与控制方面的专业书籍。书中详细介绍了超精密气浮支承技术、精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术、动力学建模及参数辨识、定位精度研究等方面的内容。此外,书籍中还介绍了气浮轴承模型及有限元分析法,分析了结构形状、设计、工艺参数等因素对气浮轴承性能参数的影响,同时还探讨了气浮定位工作台的数学模型和定位精度研究的方法及实验结果。本书适用于数字制造设备、精密加工设备、精密测量仪器、生物医药等行业科研技术人员,以及高等院校相关专业的研究生。

推荐理由

本书详实介绍了超精密气浮定位工作台技术的技术原理、建模及控制方案,并对气浮轴承模型及有限元分析法、动力学建模与参数辨识、定位精度研究等内容进行了深入剖析。其理论与实践相结合,可为读者提供较为完善的研究参考。对于从事工程技术领域研究的科研工作者和相关技术工作者,本书是一本不可多得的参考书。同时,本书还适合高等院校相关专业的研究生使用。