晶圆制造中的并行机调度/排序与调度丛书
图书信息
书名：晶圆制造中的并行机调度/排序与调度丛书作者：张洁,张朋
包装：平装
开本：16
全文字数：276000
出版社：清华大学出版社
出版时间：2019-12-01
图书简介
晶圆制造系统是半导体产业链中重要的环节，本书介绍了晶圆制造加工系统并行机调度问题分析及算法设计方法，为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究晶圆制造调度问题提供理论基础，为推动晶圆制造调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。本书还详细描述了光刻机调度、炉管区调度和物料运输系统调度等方法，并提供了性能评价和原型系统应用方法，可作为机械工程、工业工程、自动化、计算机工程、管理工程等专业的研究生和高年级本科生的教材和参考书。
推荐理由
本书详尽介绍了晶圆制造加工系统并行机调度问题分析及算法设计方法，并提供了实用的方法和技术，适合研究者和生产管理人员学习和应用。特别是对于晶圆制造企业提升核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义，强烈推荐该书给相关从业人员。
