MEMS多晶圆旋转机械：涡轮机、发电机和发动机
图书信息
书名：MEMS多晶圆旋转机械：涡轮机、发电机和发动机作者：Jeffrey,H.Lang,刘欢,刘卫国
包装：平装
开本：16
全文字数：456000
出版社：国防工业出版社
出版时间：2016-06-01
图书简介
《MEMS多晶圆旋转机械：涡轮机、发电机和发动机》是一本介绍MEMS微发动机项目研究成果的里程碑式著作。本书涵盖了PowerMEMS与微型动力装置的研究，对MEMS工艺及体硅工艺的研究成果进行探讨。此外，书中还介绍了多个领域的知识，如薄膜技术、材料科学、结构学、燃烧与传热学、电机科学等，对MEMS技术的研究与应用有着重要的参考价值。尤其是本书中对体硅工艺的研究，其深度和广度让其他MEMS领域的学者都值得借鉴。
推荐理由
本书对MEMS技术的研究与应用做了系统性的总结，是了解MEMS技术和动力装置的优秀参考书。
