微系统设计与制造（第二版）
图书信息
书名：微系统设计与制造（第二版）作者：王喆垚
包装：平装
开本：16
出版社：清华大学出版社
出版时间：2015-09-01
图书简介
自本书于2008年出版以来，MEMS技术迅速发展。本书第二版在保持优秀版结构基础上，补充和增强实际MEMS产品，并增强了结构设计、制造工艺、圆片级真空封装等主要环节。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，深入介绍多种典型和量产MEMS器件的设计和制造方法以及重点和前沿应用研究领域的发展。本书可供高等院校电子、微电子、微机电系统、测控技术与仪器、精密仪器、机械工程、控制工程等专业的高年级本科生、研究生和教师使用，也可供工程技术人员参考。
推荐理由
本书是一本介绍MEMS技术领域的权威教材，全面介绍了微系统的基础理论、典型器件和发展趋势，强调设计与制造相结合、前沿与基础相结合，适合广大专业学者和工程师学习和参考。
