MOS集成电路工艺与制造技术
图书信息
书名：MOS集成电路工艺与制造技术作者：潘桂忠
包装：平装
出版社：上海科学技术出版社
出版时间：2012-07-01
图书简介
《MOS集成电路工艺与制造技术》为一本系统学习MOS集成电路制造技术的优秀参考书，作为该领域的入门书籍，具有全面、深入、详实的特点。本书不但解析了PNOS、NMOS、CMOS等工艺，还介绍了LV HV兼容CMOS工艺，并详细讲解了硅晶圆衬底、氧化、扩散、离子注入、外延、化学汽相淀积、光刻、付蚀与刻蚀等多种关键制造技术。本书不仅适用于集成电路行业的工程技术人员，也适合电子商务、电子信息等相关专业的学生和教师学习使用。
推荐理由
本书内容详实且丰富，不仅适用于电子信息专业人士，也适合相关专业学生和教师使用。是一本入门学习MOS集成电路制造技术的优秀参考书。