微系统设计导论（第2版）
图书信息
书名：微系统设计导论（第2版）作者：沃纳·卡尔·施默博格（Werner,Karl,Schomburg）,董瑛
包装：平装
开本：16
全文字数：366000
出版社：清华大学出版社
出版时间：2019-09-01
图书简介
《微系统设计导论（第2版）》共23章，介绍了微传感、微驱动、微流体控制、微光学等微系统的关键结构与功能元件的设计。本书通过建立和求解系统方程来进行参数设计，而微系统和微结构的工作原理是建立解析方程的基础，因此本书着重介绍微结构在微系统中的应用及其工作原理的表达式。对于研究微系统设计的学生和专业人士来说，这是一本不可或缺的参考。每章末都给出一些习题，有助于读者熟练掌握设计公式的用法。
推荐理由
本教材适用于微机电系统技术、测控技术、仪器仪表、机电一体化等专业的学生和工程技术人员。通过本书，可以全面深入地学习微系统设计的关键结构与功能元件的设计，了解微结构在微系统中的应用，从而提高设计水平。