半导体制造技术 国外电子与通信教材系列
图书信息
书名：半导体制造技术 国外电子与通信教材系列作者：夸克,MichaelQuirk,瑟达
包装：平装
页数：616页
出版社：电子工业出版社
出版时间：2015-6
图书简介
《半导体制造技术》是一本详细介绍半导体制造历史和技术的电子与通信教材系列。全书共20章，按照主要技术分类来安排章节，包括与半导体制造相关的基础技术信息、总体流程图的工艺概况、具体讲解每一个主要工艺和集成电路的后部工艺概况等方面内容。
本书主要目的是阐述半导体制造的各种技术。书中的每一章都为读者提供了一些关于质量测量和故障排除的问题，这些都是在硅片制造中遇到的实际问题。无论是对于半导体制造领域的学习者、工程师还是相关专业人员，该书都是必备的参考读物。该书对于半导体技术的发展和应用有着深刻的理解和洞察，是一本引人深思的著作。
推荐理由
本书全面、系统地阐述了半导体制造各种技术，深入浅出地介绍了半导体制造的发展历程、原理和应用。该书适合半导体制造领域的学习者、工程师和相关专业人员阅读。该书是半导体制造技术方面的经典教材，适合作为教学和科研参考。