扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术
图书信息
书名：扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术作者：施明哲
包装：平装
开本：16
页数：416页
全文字数：524000
出版社：电子工业出版社
出版时间：2015-11
图书简介
《扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术》介绍了扫描电镜和X射线能谱仪的原理和应用技术。优秀篇主要介绍了扫描电镜的基本原理，包括扫描电镜的国内外发展历程、电镜的基本原理和结构、实际应用中常见技术和具体应用、样品的处理、电镜日常维护及保养，以及环境和低真空扫描电镜。第二篇主要介绍能谱仪的基本原理、结构和应用技术，包括Si（Li）和SDD两种不同的检测器。书中详细介绍了对样品的制备、设备的维护和保养方法。新增的低真空、SDD新型能谱检测器和平行光波谱仪等新技术更加满足相关专业人员的应用需求。总之，这是一本介绍电镜和能谱仪的理论和实用技术的专业书籍。
推荐理由
本书适合从事电镜显微分析方面的工程技术人员阅读，也适合理工科院校的微电子、半导体物理、电子物理、电子材料、金属材料、非金属材料、分析化学和生物专业的本科生和研究生参考。该书详细介绍了电镜和能谱仪的原理和实用技术，并且包括最新技术应用等等，对从事相关领域的人士会有很大帮助和指导。