微米纳米器件设计
图书信息
书名：微米纳米器件设计作者：黄庆安,周再发,宋竞
包装：平装
开本：16
出版社：国防工业出版社
出版时间：2015-03-01
图书简介
《微米纳米器件设计》是MEMS设计的专著，全书共分为5章，内容涵盖器件级、系统级、工艺级和NEMS设计基础。在器件级设计中，详细介绍了微传感器和微执行器的工作原理，以及偏微分方程和耦合偏微分方程的有限元网格划分、算法及后处理方法。在系统级设计中，介绍了MEMS系统级建模方法，例如接点分析法、等效电路法、VHDL等。在MEMS工艺模型中，介绍了主要加工方法如硅各向异性腐蚀、DRIE、UV-LIGA等工艺模型及相关算法。最后，介绍了MEMS设计软件结构、模块以及使用方法和算例。本书内容全面，深入浅出，是MEMS设计非常实用的参考书。
推荐理由
本书是一本非常实用的MEMS设计的参考书，内容详细、涵盖面广，在器件级、系统级和工艺级设计方面都有一个深入的介绍。适合MEMS领域的工程技术人员、研究人员和学生学习和使用。