集成电路制造工艺/全国高等职业教育规划教材
图书信息
书名：集成电路制造工艺/全国高等职业教育规划教材作者：刘新,彭勇,蒲大雁
包装：平装
开本：16
出版社：机械工业出版社
出版时间：2015-05-01
图书简介
《集成电路制造工艺/全国高等职业教育规划教材》是一本介绍集成电路制造工艺的教材，面向高职高专微电子技术专业学生，旨在帮助读者全面了解集成电路制造的理论知识和实践技能。本书以项目为导向，任务驱动的方式，按照生产一个双极型晶体管的工艺流程，分别介绍了氧化工艺、扩散工艺、光刻工艺、刻蚀工艺和金属化等主要工艺，同时介绍了目前主流的VLSI制造工艺中的关键工艺，如CVD工艺、离子注入工艺等。本书内容比较全面，注重对操作技能的描述，包括工艺流程操作过程、设备及操作方法。通过本书的学习，读者可以全面了解集成电路制造中需要掌握的基本理论知识和操作技能。
推荐理由
《集成电路制造工艺/全国高等职业教育规划教材》是一本系统性较强，全面介绍集成电路制造工艺的教材。作为高等职业教育规划教材，该书注重对基本概念、工艺流程及操作技能的介绍与讲解，使得学生在理论和实践层面能够深入了解集成电路制造相关知识。本书不仅适合高职高专微电子技术专业学生，也适合从事集成电路制造的工程师和技师作为参考书进行学习。若你对集成电路感兴趣或正需要深入了解此领域相关知识，本书是你的不二选择。
